VU Nanometrology

Exam informations

Die VU hat prüfungsimmanenten Charakter, zusätzlich findet am Ende der LVA eine mündliche Prüfung statt.

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Description

Ziel dieses Wahlfach-Moduls ist die Vermittlung von Grundlagen und detaillierten Einblicken in die Nanometrologie, insbesondere Rastersondenmikroskopie (Atomic Force Microscopy, AFM), sowie die zugehörige Instrumentierung und Behandlung der Herausforderungen in mechatronischen Anwendungen.

Im Laborteil wird der Lehrinhalt der Vorlesung an den Laborsystemen am ACIN vertieft und von den Studierenden an praktischen Abbildung-, Mess- und Übungsaufgaben selbst am Gerät umgesetzt.

Grundlagen und physikalische Prinzipien auf der Nanometer-Skala, Kräfte, Limitierungen, Skalierungseffekte, hochauflösende Abbildungssysteme, Elektronenmikroskopie (SEM, TEM), Rastertunnelmikrokopie (STM), Rasterkraftmikroskopie (AFM) und verwandte Methoden (MFM, KFM), Kraftmessungen, Einzelmolekuelspektroskopie, Dynamik eines AFMs und Hochgeschwindigkeits-AFM, Bildverarbeitung, nanomechanische Charakterisierung, Nano-Indentation, Nano-Lithographie, Partikelmanipulation, Nano-Robotik, Wissenschaftliche Instrumentierung, physikalische Sensor- und Aktuationsprinzipien.

Commercial AFM from Bruker CooperationMFM image of a hard disc drive (HDD).

  • LVA-Nummer: 376.052
  • ECTS: 4.5
  • Stunden: 3

Module

Lecturers

Patrick Mesquida

Email: patrick.mesquida@tuwien.ac.at
TISS: Patrick Mesquida

Georg Schitter

Email: georg.schitter@tuwien.ac.at
TISS: Georg Schitter

Dominik Kohl

Email: dominik.kohl@tuwien.ac.at
TISS: Dominik Kohl

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