VU Halbleiter-Prozess-Modellierung

Exam informations

Mitarbeit bei den Simulationsübungen, mündliche Prüfung.

Workload for exams

Description

Überblicksartige Beschreibung der Fragestellungen und Methoden der Simulation von Halbleiterprozessen mit Schwerpunkt Computational Materials Science. Kennenlernen von Simulationstools.

Überblick über Methoden der Computational Materials Science, insbesondere atomistischer Verfahren. Im praktischen Teil werden Simulationen mit Open-Source Software (LAMMPS, MMonCa) durchgeführt.

  • LVA-Nummer: 362.151
  • ECTS: 3.0
  • Stunden: 2

Module

Lecturers

Gerhard Hobler

Email: gerhard.hobler@tuwien.ac.at
TISS: Gerhard Hobler

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