UE Labor Mikrosystemtechnik

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Description

Vertiefende Laborübung zu aktuellen Aufgabenstellungen in den Bereichen Technologie und Messtechnik von Bauelementen der Mikrosystemtechnik.

In dieser Laborübung sollen aufbauend auf die Fachvertiefung „Mikrosensortechnologie“ tiefergehende Praxiserfahrung anhand aktueller Forschungsschwerpunkte vermittelt werden. Dabei kann der Schwerpunkt auf Technologien im Reinraum gelegt werden, sowie in der Analytik bzw. Messtechnik von MEMS Bauelementen. Die Arbeiten sollen unter Anleitung, aber weitgehend selbständig durchgeführt werden und die Ergebnisse im Rahmen eines Vortrages präsentiert werden.

  • LVA-Nummer: 366.088
  • ECTS: 3.0
  • Stunden: 2

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