Mikro- und Nanosystemtechnik

LVAs

Beschreibung

Im Modul „Mikro- und Nanosystemtechnik“ werden aktuelle Fragestellungen über neuartige Fertigungsprozesse, Bauelementekonzepte und daraus resultierende Systeme behandelt. Dies umfasst auch die Simulation von Mikrosystemen sowie Aspekte der Aufbau –und Verbindungstechnik für sensorische, aktorische und fluidische Bauelemente.

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