UE Labor Mikroelektronik- Technologie

Prüfungsinformationen

Laborprotokoll

Lernaufwand

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Beschreibung

Praktische Einführung in Basistechnologien in der Halbleiterindustrie

Dauer:    3-Tages-Praktikum (andere Zeiteinteilung auf Anfrage möglich)
Beginn:   nach individueller Terminvereinbarung (auch während der Ferien möglich)
Gruppe:  max. 3 Studenten
Note:      auf Basis eines Laborberichtes

Diese praktische Laborübung soll den Studierenden die Möglichkeit, Halbleiterfertigung und / oder Analysetechniken zu erleben. Dieses Praktikum ist ideal, um die Kenntnisse der LVAs 362.144 , 362.152 , 362.146 zu vertiefen.

Auch idealer Einführungskurs für Physiker und Chemiker, um erste praktische Erfahrungen in der Reinraum-Techniken der Mikrofabrikation zu gewinnen. (Für Interessierte werden ergänzend auch die längeren Projektarbeitet 362,092 angeboten).

 

Laborpraktikum über Strukturierungs- und Charakteriseirungstechniken in der Halbleiterfertigung und Mikrostrukturierung

Arbeitsprogramm der Gruppen LUGSTEIN
auf Anfrage

Arbeitsprogramm der Gruppen WANZENBOECK
Prozessierungstechniken aus forschungsrelevanten Bereichen (optional):
x) Optische Lithographie und PVD-Metallabscheidung für Zellkultur-Mikrochips *
x) Direktschreiben von Metallstrukturen (Lokale CVD mit fokussiertem Elektronenstrahl) *
x) Topografische (AFM) und chemische (EDX) Charakterisierung von Nanostrukturen *
x) Elektrische Charakterisierung von Mikrostrukturen (zB aus Elekronenstrahlinduzierter Abscheidung.)
x) weitere Themen auf Anfrage möglich

  • LVA-Nummer: 362.084
  • ECTS: 3.0
  • Stunden: 2

Module

Vortragende

Alois Lugstein

Email: alois.lugstein@tuwien.ac.at
TISS: Alois Lugstein

Heinz Wanzenböck

Email: heinz.wanzenboeck@tuwien.ac.at
TISS: Heinz Wanzenböck

Emmerich Bertagnolli

Email: emmerich.bertagnolli@tuwien.ac.at
TISS: Emmerich Bertagnolli

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