VU Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik

Prüfungsinformationen

Mündliche Prüfung - Anmeldung für vorgegebene Termine via TISS.

Zusatztermine jederzeit auf Anfrage möglich - Terminvereinbarungen über silvia.pflug@tuwien.ac.at

Lernaufwand

Beschreibung

Ziel der LVA ist es, dem Studenten ein Verständnis für den Ablauf chemischer Prozesse der Mikro- und Nanotechnologie zu vermitteln.

1) Wiederholung von von chemischen Grundkenntnissen
2) Chemische Vorgänge bei Lithografie, Abscheide- und Ätzprozessen
3) Moleküleigenschaften und Löslichkeit anhand von Beispielen aus der Prozesstechnologie
4) Praktische Tips zum sicheren Umgang mit Chemikalien

Es werden grundlegende Kenntnisse der Chemie (Verbindungsklassen, Stöchiometrische Zusammensetzung, Säuren/Basen, RedOx-Reaktionen, Thermodynamik, Reaktionskinetik, Funktionalität organischer Gruppen, Nomenklatur organischer Verbindungen) vermittelt und anhand von Beispielen aus der Mikrostrukturierung (Ätzen, Lithographie, Reinigung mit Lösungsmitteln, Dauer von Reaktionen, Mischungsverhältnisse von 2 Reaktionspartnern) in Übungsbeispielen angewandt.

Chemische Konzepte (pH, Elektrochemie, Reaktionsmechanismen,...u.v.m.),Thermodynamik, Kinetik, Herstellprozesse (Lithografie, RIE, CVD,...), welche auf chemischen Prozessen beruhen.  Sicherer Umgang mit Chemikalien (Säuren, Lösungsmittel, Gase

  • LVA-Nummer: 362.149
  • ECTS: 3.0
  • Stunden: 2

Module

Vortragende

Emmerich Bertagnolli

Email: emmerich.bertagnolli@tuwien.ac.at
TISS: Emmerich Bertagnolli

Heinz Wanzenböck

Email: heinz.wanzenboeck@tuwien.ac.at
TISS: Heinz Wanzenböck

Beispiele

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